Skenovací elektronový mikroskop

Výroba rastrovacího elektronového mikroskopu je založena na interakci elektronů s hmotou. Když vysokoenergetický lidský paprsek elektronů dopadne na povrch hmoty, vzrušená oblast bude generovat sekundární elektrony, Augerovy elektrony, charakteristické rentgenové a kontinuální rentgenové paprsky, zpětně rozptýlené elektrony, přenášené elektrony a viditelné, ultrafialové a infračervené záření Elektromagnetické záření ze světelných oblastí. Současně mohou být generovány páry elektronových děr, vibrace mřížky (fonony) a elektronické oscilace (plazma). V zásadě lze pomocí interakce elektronů a látek získat informace o různých fyzikálních a chemických vlastnostech samotného vzorku, jako je morfologie, složení, krystalová struktura, elektronická struktura a vnitřní elektrická nebo magnetická pole.