Microscope électronique à balayage

La fabrication d'un microscope électronique à balayage est basée sur l'interaction des électrons avec la matière. Lorsqu'un faisceau d'électrons humains de haute énergie frappe la surface de la matière, la région excitée génère des électrons secondaires, des électrons Auger, des rayons X caractéristiques et des rayons X du continuum, des électrons rétrodiffusés, des électrons transmis et des rayons visibles, ultraviolets et infrarouges. Rayonnement électromagnétique des zones lumineuses. Dans le même temps, des paires électron-trou, des vibrations du réseau (phonons) et des oscillations électroniques (plasma) peuvent également être générées. En principe, en utilisant l'interaction des électrons et des substances, des informations sur diverses propriétés physiques et chimiques de l'échantillon lui-même peuvent être obtenues, telles que la morphologie, la composition, la structure cristalline, la structure électronique et les champs électriques ou magnétiques internes.