Skaningowy mikroskop elektronowy

Wytwarzanie skaningowego mikroskopu elektronowego opiera się na oddziaływaniu elektronów z materią. Kiedy wysokoenergetyczna ludzka wiązka elektronów uderza w powierzchnię materii, podekscytowany region wytworzy elektrony wtórne, elektrony Augera, charakterystyczne promienie rentgenowskie i rentgenowskie ciągłe, elektrony wstecznie rozproszone, elektrony przesyłane i widoczne, ultrafioletowe i podczerwone Promieniowanie elektromagnetyczne z jasnych obszarów. Jednocześnie mogą być generowane pary elektron-dziura, wibracje sieci (fonony) i oscylacje elektroniczne (plazma). Zasadniczo, wykorzystując oddziaływanie elektronów i substancji, można uzyskać informacje o różnych właściwościach fizycznych i chemicznych samej próbki, takich jak morfologia, skład, struktura krystaliczna, struktura elektronowa oraz wewnętrzne pola elektryczne lub magnetyczne.