Rasterelektronenmikroskop

Die Herstellung eines Rasterelektronenmikroskops basiert auf der Wechselwirkung von Elektronen mit Materie. Wenn ein energiereicher menschlicher Elektronenstrahl auf die Oberfläche der Materie trifft, erzeugt der angeregte Bereich Sekundärelektronen, Auger-Elektronen, charakteristische Röntgen- und Kontinuumsröntgenstrahlen, rückgestreute Elektronen, durchgelassene Elektronen sowie sichtbare, ultraviolette und infrarote Strahlen. Elektromagnetische Strahlung von Lichtbereichen. Gleichzeitig können auch Elektron-Loch-Paare, Gitterschwingungen (Phononen) und elektronische Schwingungen (Plasma) erzeugt werden. Im Prinzip können durch die Wechselwirkung von Elektronen und Substanzen Informationen über verschiedene physikalische und chemische Eigenschaften der Probe selbst erhalten werden, wie Morphologie, Zusammensetzung, Kristallstruktur, elektronische Struktur und interne elektrische oder magnetische Felder.